现代涡轮分子泵能获得超过 400 米/每秒的圆周速度。这将转化为相应的高转子动能,当转子和定子相触,动能将在瞬间传输到外壳和泵的底座上。因此,泵外壳的稳定性具有至关重要的作用,需经过理论和实际的双重检验。普发真空的涡轮分子泵已通过UL 61010和/或Semi S2认证。除机械安全性能外,该认证同时也包括了防火和转速过高的双重保护,这向认证是由普发真空与TüV Rheinland共同开创的。
应用领域
在很多产品制造和工艺研究领域中,真空技术发挥着决定性的作用。涡轮分子泵对于制造极纯工艺条件具有至关重要的作用。
● 分析仪器(质谱分析法、显微镜等)
● 半导体行业(电子组件、集成电路、太阳能电池等)
● 光学/玻璃行业(隔热保护、防反射、反射、滤光镜镀膜等)
● 真空镀膜技术*(表面保护、装饰土层、显示技术、屏幕等)
● 真空冶金(真空焊接、真空烧结、真空合金、真空炉等)
● 泄漏检测(真空系统、机车燃料箱、安全气囊、真空包装行业)
● 科研设施(核粒子物理学、核聚变研究、激光应用等)
● 灯具行业(灯具生产等)