莱宝磁悬浮分子泵 MAG integra

莱宝磁悬浮分子泵 MAG integra

1.1设计和功能

涡轮分子泵基本包括泵壳、多级转子以及成套定子、驱动器以及磁悬浮轴承。

转子

转子采用合金铝制造，包括涡轮级和Holweck级。

磁悬浮轴承

MAG有内置精密5轴定位磁悬浮轴承，转子悬挂在免维护的磁悬浮轴承上。

这种轴承原理使分子泵可以任意角度安装并保证了运行的振动非常低。磁悬浮轴承运行不需要任何油脂润滑从而保证了超级清洁的真空。

保护轴承

保护轴承用于在运行期间发生冲击时使转子保持机械稳定。只有在有强振动或者电子元件有故障时，才使用保护轴承。

电源电压中断后，涡轮分子泵用作发电机向变频器供电。转子减速达到大约100赫兹，然后降落到保护轴承。

MAG采用水冷，可以配置保护气/破空阀。受控同步电动机用于为转子提供动力。

变频器

电动机驱动电压和磁悬浮轴承运行电压由MAGDRIVEiM变频器提供。它还自动监控这